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晶圆直径增加一半 产出芯片数量翻番 12英寸芯片生产线在沪试流片

发布时间:2011年04月30日 19:48 | 进入复兴论坛 | 来源:新闻晨报

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  本报讯 (记者 徐瑞哲)昨天,位于上海张江的华力微电子无人化厂房内,一条12英寸全自动芯片线上,首批55纳米工艺产品顺着轨道进入流水线,开始试流片。这标志着总投资135亿元的“909”工程升级改造项目,历经短短16个月,已建成第一条国资控股、超大规模的12英寸集成电路芯片生产线,验收后将跨入更高工艺级别。

  显微镜下,一片锅盖大小的“晶圆”,集成排布着万千枚芯片。当今集成电路业界,高端“晶圆”直径渐大,可达12英寸,约30厘米;同时,代表芯片刻制细密程度的“线宽”渐小,可达45纳米以下,即不到0.045微米。专家介绍,一片晶圆从8英寸放大到12英寸,直径增加50%,单位面积上可产出的芯片数量则增加100%,技术能级翻番,规模效应显著。

  “909”工程始于上世纪90年代第九个五年计划,是国家发展微电子产业重点工程的代称。工程建有一条超大规模集成电路生产线,从8英寸、0.5微米技术起步,月加工2万片“晶圆”。这条线现由上海华虹集团所属企业运营,月产能已达8.6万片。 “909”工程升级改造于去年初启动,由上海华力微电子有限公司建设运营,工艺级别为“90、65、45纳米”,月产3.5万片。新线投运后,上海国资控股的集成电路企业将形成 “12英寸+8英寸”这一国际主流的芯片制造格局,制造大量国内急需的高端集成电路,并具备承担和支撑国家“核高基”重大科技专项的能力。

  (下转第3版)

  (上接第1版)据了解,上海作为国家级微电子产业基地、国家级集成电路研发中心所在地,是国内集成电路产业集聚度和配套程度最高的地区之一。

  全市现有4英寸、6英寸、8英寸等规格的10余条生产线,但此前仅有一条用于研发的12英寸小产量线。这条12英寸量产线在国内率先实现全自动高效率生产,其硅片搬运系统由3246米轨道和100台搬运小车组成,每小时能完成1400多项搬运指令,抵得上一个班次300多号人力。

  市经济和信息化委透露,新生产线将主要面向国内市场,计划一半以上产能满足内需,加强我国信息产业芯片供应的自主可控。运营方华力微电子已提交142项工艺专利申请,全年计划完成500项专利申请,今年第四季度开始45纳米产品的工艺研发。